EQUIPO DE PLASMA EN BAJA PRESIÓN ZEPTO 5
El modelo 5 de la serie Zepto es un sólido equipo de tratamiento
de superficies por plasma en baja presión con control
computerizado básico mediante pantalla táctil. Ha sido diseñado
para abordar trabajos de investigación en los que sea necesario utilizar
tratamiento de plasma en baja presión de forma repetitiva y en los que sea
necesario obtener resultados reproducibles.
La pantalla táctil permite el control de todas las variables de proceso
así como la gestión de métodos de control programados (recetas).
El generador de baja frecuencia se ha diseñado para ser muy eficaz en los
procesos de limpieza
y activación
de superficies manteniendo un claro compromiso con el coste.
ESPECIFICACIONES EQUIPO DE PLASMA BAJA PRESIÓN Y BAJO COSTE
- Chasis
Sobremesa
Ancho 425 mm, Alto 185 mm, Fondo 450 mm
- Generador de plasma
40khz, 0-100W
Impedancia automática
Control de potencia aplicada
- Canales de gas de proceso
1 canal. Control por controlador de flujo másico
- Cámara proceso
Cilíndrica, fabricada en borosilicato, con tapa,
Ø 105 mm
longitud 300 mm
Volumen aprox: 2,6 litros
- Control del sistema
Computerizado mediante pantalla táctil con Windows Embedded Compact 7
Medidor de presión de cámara pirani
Control de tiempo de proceso
- OPCIONALES NO INCLUIDOS
Cámara de cuerzo en sustitución de borosilicato
Cámara de borosilicato para obleas de 6"
Cámara de cuarzo para obleas de 6"
Canal adicional de gas de proceso
Puerta con visagras en sustitución de la tapa estándar
Bomba de vacío
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